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Oberflächenanalyse von Si/SiGe-Schichten formatIsbn:Softcover - 9783838651125 Im weiteren Verlauf beschreibt Kapitel

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Description

Im weiteren Verlauf beschreibt Kapitel 4 einzelne Schritte des Eröffnungs- und des eröffneten Verfahrens

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Oberflächenanalyse von Si/SiGe-Schichten formatIsbn:Softcover - 9783838651125 Im weiteren Verlauf beschreibt KapitelInhaltsangabe: Zusammenfassung: In der vorliegenden Arbeit wurde ein Prozess entwickelt, der es erlaubt, die Versetzungsdichten in Si SiGe Heterostrukturen zu bestimmen. Dabei wurde im Besonderen Wert auf eine Einfhrung in die Untersuchungsmethoden der Oberflchenmorphologie von Nanostrukturen, mittels Atomkraft , Rastertunnel , und Polarisationsmikroskop, gelegt. Diese Arbeit soll fr Interessierte einen erleichterten Einstieg in die

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